超高真空扩散泵油的使用需严格遵循操作规范，以保障真空系统性能、延长油品寿命并避免污染，具体注意事项如下：
      1. 系统预处理与清洁
      换油前需彻底清洁扩散泵内部，去除残留的旧油、碳化物及杂质，可使用专用溶剂（如三氯乙烯）冲洗，避免新旧油混合导致性能劣化。确保系统管道、阀门等部件无锈蚀、油污或颗粒，防止污染物进入油中影响真空度。
       2. 加注与液位控制
       加注时需在洁净环境下操作，避免灰尘、水分混入，建议使用专用过滤漏斗。油位需严格控制在泵体标注的 “最低” 与 “最高” 刻度之间：油位过低会导致蒸气流不稳定，抽速下降；过高则可能因沸腾溅油污染系统。
       3. 加热与启动规范
       必须先通过前级真空泵将系统预抽至低真空（通常≤1Pa），再启动扩散泵加热，防止油在低压下剧烈沸腾导致分解。加热功率需匹配油品特性，避免超温运行（如甲基苯基硅油通常耐受 200~300℃，超温会引发裂解、蒸气压升高）。