选择适合的超高真空扩散泵油需综合考虑真空系统的工作条件、性能需求及兼容性，具体可从以下几个核心维度判断：
      一、真空度需求
      核心依据是油品的饱和蒸气压，需匹配系统目标真空范围。例如，用于 10⁻⁸~10⁻¹⁰Pa 的超高真空时，需选择蒸气压≤10⁻¹¹Pa（20℃）的油品；若真空度要求稍低（如 10⁻⁶Pa），可选用蒸气压略高的型号，平衡成本与性能。
       二、工作温度范围
       扩散泵工作时油温通常在 200~300℃，需确保油品在此区间内热稳定性优异，不发生分解、碳化或挥发加剧。例如，苯基含量较高的甲基苯基硅油，耐高温性优于纯甲基硅油，更适合高温工况。
       三、与系统的兼容性
       避免与系统内材料（如金属、橡胶密封圈、其他真空油脂）发生化学反应，例如部分含氟硅油可能腐蚀特定金属，需提前确认材质兼容性。
若系统涉及气体（如氧气、腐蚀性气体），需选择化学惰性更强的油品，防止氧化或降解。
       四、使用寿命与维护成本
       优质油品应具备低挥发、抗裂解特性，可减少频繁换油带来的停机成本。例如，高分子量硅油因分子结构稳定，使用寿命通常长于低分子量型号。
       五、行业应用规范
       半导体、光学镀膜等高精度领域可能对油品纯度（如金属离子、挥发物残留）有严格要求，需选择符合行业标准（如 SEMI 规范）的专用型号，避免污染工件。
       综上，选择时需优先明确系统的真空度、温度、介质等核心参数，再结合兼容性和长期使用成本筛选，必要时可参考泵制造商推荐的油品型号。