超高真空扩散泵油是获得并维持超高真空环境的核心工作介质。它并非普通的润滑油，而是一类具有极低饱和蒸汽压、优异热稳定性和化学惰性的特种液体。其性能直接决定了扩散泵的极限真空度、抽气速率和系统洁净度。
       目前主流的高性能产品以合成型硅油和聚苯醚类油为代表。其中，以高苯基含量的聚甲基苯基硅氧烷（常称为275型硅油）应用尤为广泛。这类硅油在常温下饱和蒸汽压极低，极限真空度可达10⁻⁸ Pa量级，比传统矿物油有质的提升。它具备出色的“三耐”特性：耐高温（闪点常高于240°C，长期工作在200°C以上）、耐低温（凝点低于-14°C）以及耐辐射。此外，其化学性质稳定，不易氧化分解，能够长期保持性能。
       在实际应用中，这些特性转化为了关键优势。低蒸汽压确保了在高温工作下油分子自身不易挥发返流，污染需要超高真空的腔体。卓越的热氧化安定性则保证了油品在高温金属催化下不易裂解生成残渣，延长了泵的维护周期和使用寿命。因此，这类泵油成为了半导体制造（如离子注入、镀膜）、高能物理研究、航空航天器件测试等尖端领域不可或缺的耗材。