真空扩散泵，通常被称为油扩散真空泵或油扩散泵，是利用低压、高速和定向流动的油蒸气射流抽气的真空泵。其工作原理具体如下：

      一、工作原理

1. 加热与蒸发：

   • 电加热器（电炉）将装在泵腔（油锅）内的液态工作介质（泵油）加热，使其变成蒸汽。
   • 泵油在真空中加热到沸腾温度（约200℃），产生大量的油蒸气。

2. 蒸汽射流：

   • 油蒸气通过安装在泵腔里的泵芯喷嘴高速喷出，形成低密度、高速度的蒸汽射流。
   • 蒸汽射流从伞形喷嘴（如I级喷嘴）以超音速喷出，其速度逐渐增大，压力及密度逐渐降低。

3. 气体扩散与携带：

   • 被抽气体通过扩散进入蒸汽射流中。
   • 由于蒸汽射流上边的被抽气体因密度差要向蒸汽射流中扩散，因此被射流携带到水冷的泵壁处。

4. 冷凝与回流：

   • 工作蒸汽到达水冷的泵壁后，冷凝成为液态，沿着泵壁流回油锅中循环使用。
   • 油蒸气在冷却的泵壁上被冷凝后又返回到油锅中重新被加热，如此循环工作。

5. 气体压缩与排出：

   • 被抽气体在泵壁处堆积、压缩，最后被下级射流携带走，以达到逐级压缩。
   • 最后，被抽气体由前级泵排出真空系统。

     二、影响因素

      影响扩散泵性能的主要因素包括：

1. 油蒸气返流：可以通过在真空系统上加装冷阱来有效防止。
2. 气体分子反扩散：通过增加罗茨泵或双机械泵作为前级泵，增大抽速，降低扩散泵出气口的压力，可以减少气体分子的反扩散和油蒸气的返流。
3. 泵油裂化分解：采用合格的扩散泵油可以防止裂化分解。
4. 泵脏化：污染物留在泵内重复循环会影响泵的性能，应对扩散泵进行清洗，并更换泵油。

     三、结构组成

     油扩散泵主要由泵体、扩散喷嘴、蒸气导管、油锅、加热器、扩散器、冷却系统和喷射喷嘴等部分组成。

    四、应用场景

     油扩散泵是获得高真空的主要设备，广泛用于真空冶炼、真空镀膜、空间模拟试验和对油污染不敏感的一些真空系统中。

综上所述，真空扩散泵油的工作原理是通过加热泵油产生蒸汽射流，利用蒸汽射流携带和压缩被抽气体，并最终由前级泵排出真空系统。这一过程中涉及了加热、蒸发、扩散、携带、冷凝和回流等多个环节。